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高纯铼片制备及应用技术研究

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本课题研究的高纯铼片制备及应用技术属于难熔金属材料制备和加工领域。铼具有高耐磨性、耐蚀性和传导特性以及在高温和温度骤变情况下保持高的强度和良好的抗蠕变性能，常被用做电子管、特种灯的热离子材料，近年来随着LED行业的蓬勃发展，高纯铼制品作为关键发热元件被广泛应用于晶体衬底和外延片生长用的MOCVD设备中。由于半导体领域中，对铼制品的纯度有极高的要求，以避免使用过程中污染加热环境，且铼硬度高、...
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